Vandaag in het FD:
ASML mikte met revolutionaire machine op bewegend doel
Bert van Dijk Jeroen Segenhout Job Woudt
Vandaag, 06:00
Update: vandaag, 08:05
ASML mikte met zijn revolutionaire EUV-machine op bewegend doel (PDF)
Vijftien jaar ontwikkelen en miljarden aan investeringen. En toch wordt de nieuwste generatie chipmachines van ASML nog steeds niet op grote schaal gebruikt in de chipproductie, het eerdere optimisme van de onderneming uit Veldhoven ten spijt.
De revolutionaire EUV-techniek kostte ASML meer moeite dan voorzien. Bovendien moesten de doelstellingen almaar scherper worden gesteld, omdat de huidige generatie machines meer mogelijkheden bood dan gedacht.
Intel
Dit blijkt uit een reconstructie van het EUV-project door het FD, die vrijdag verschijnt in de bijlage Outlook. Dit voorjaar maakte ASML bekend vijftien EUV-machines te produceren voor een niet nader genoemde klant, hoogstwaarschijnlijk chipproducent Intel. Het is de eerste omvangrijke order voor deze nieuwe machine, die bij het lithograferen van de chips gebruikmaakt van zogeheten extreem ultraviolet licht, afgekort tot EUV. Onduidelijk is op welke termijn ASML deze machines gaat leveren.
EUV speelt een belangrijke rol in de chipindustrie. De techniek moet de productie van nog kleinere, krachtigere en energiezuinigere chips mogelijk maken. Dat is noodzakelijk om de digitale revolutie van de afgelopen decennia te kunnen verlengen.
Opgeschoven
Klanten als Intel, Samsung en TSMC hebben ASML de afgelopen jaren onder druk gezet om sneller een productierijpe EUV-machine te leveren. Oorspronkelijk hoopte ASML dat EUV-machines rond 2006 of 2007 zouden worden gebruikt bij de productie van chips, waarbij de kleinste onderdelen (destijds) 45 nanometer zouden zijn. Door grote technische uitdagingen moest de introductiedatum steeds verder naar voren worden geschoven.
Voor de komende jaren is het nog allerminst zeker dat EUV-machines van ASML grootschalig zullen worden gebruikt. Intel maakt inmiddels in zijn nieuwste chipfabrieken chips met onderdelen van 14 nanometer. Zonder gebruik van de EUV-techniek. ‘Intel kan ook best ver gaan zonder EUV’, zegt Rob Willoner, technologieanalist bij Intel. ‘We kunnen 7 nanometer doen zonder EUV.’
Betrouwbaar
ASML erkent dat het EUV-project vertraging heeft opgelopen, maar het bedrijf gelooft dat de technologie uiteindelijk voor hoogvolumeproductie van chips wordt ingezet. ‘EUV is al goed genoeg om te gebruiken. We zijn nu bezig EUV betrouwbaar te maken in zijn consistentie’, zegt Jos Benschop, senior vicepresident technologie bij ASML. ‘Er bestaat een goede kans dat bij een volgende stap in de chipproductie een aantal lagen op de siliciumschijven met onze EUV-machines zullen worden belicht.’